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飛納中國
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1997年FEI和飛利浦電子光學(xué)宣布合并其全球業(yè)務(wù)
2008年臺式掃描電子顯微鏡飛納(Phenom)進入中國市場
2012年飛納(Phenom）臺式掃描電鏡全球銷zui突破2000臺
2013年飛納（Phenom)發(fā)布第三代臺式掃描電鏡，放大倍數(shù)
10萬倍，分辨率優(yōu)于17nm
半導(dǎo)體電子顯微鏡
17世紀荷蘭光學(xué)天才:Antoni van
Leeuwenhoek設(shè)計并制造世界
*臺光學(xué)顯微鏡
19世紀Anton和Gerard Philips在荷蘭埃因霍溫創(chuàng)建
了飛利浦公司
1947年LePoole教授為Dorgelo教授展示荷蘭*臺掃描電子顯微鏡
飛納(Phenom)主要特點
一長壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲
一表面細節(jié)豐富的高質(zhì)量圖片
一內(nèi)置彩色光學(xué)顯微鏡
一自動馬達樣品臺
一30秒快速成像，操作簡單
一光學(xué)與低倍電子雙重導(dǎo)航
一防震設(shè)計，對放置環(huán)境無牛條殊要求
一樣品倉低真空技術(shù)，直接觀測絕緣體，}c需噴金
一四分割高靈敏度背散射電子探頭，兼得樣品表面
形貌與成份信息
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