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四探針電阻率測(cè)試儀工作流程

本文從的定義，工作原理，組成，

四探針電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用直線(xiàn)或方形四探針雙位測(cè)量。單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

雙電測(cè)試法：

利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析.

優(yōu)點(diǎn)：

自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線(xiàn)或方形四探針相比，提高精確度，

特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。