方案詳情:
?1. 物品準(zhǔn)備與預(yù)處理?
?清潔處理?:物品表面用異丙醇擦拭去除顆粒物,對(duì)生物樣品需紫外照射30分鐘滅菌。
?密封包裝?:使用真空袋或鋁箔包裹,避免多孔材料(如濾紙)直接暴露。
?標(biāo)記狀態(tài)?:區(qū)分“已清潔”“待處理”標(biāo)簽,防止交叉污染。
?2. 真空型過渡艙操作流程?
a. ?外部裝載?:
打開外門,放入物品后關(guān)閉并鎖緊,確保密封圈無扭曲。
b. ?抽真空-充氣循環(huán)?:
抽真空至≤1 mbar,充入高純惰性氣體(純度≥99.999%)至常壓,重復(fù)3次以置換殘留空氣。
c. ?內(nèi)部轉(zhuǎn)移?:
檢測艙內(nèi)氧含量(<10 ppm)后打開內(nèi)門,用內(nèi)部手套將物品移至主箱操作區(qū)。
?3. 吹掃型過渡艙操作流程?
a. ?持續(xù)吹掃?:
以5-10 L/min流速通入惰性氣體30分鐘,確保艙內(nèi)氣體置換徹底。
b. ?壓力平衡?:
維持艙內(nèi)微正壓(+5~10 mbar),防止外部空氣倒灌。
c. ?快速轉(zhuǎn)移?:
完成吹掃后,立即開門取物并關(guān)閉,減少環(huán)境暴露時(shí)間。
?4. 關(guān)鍵參數(shù)監(jiān)測?
?氧含量?:使用電化學(xué)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測,閾值設(shè)為10 ppm(半導(dǎo)體工藝需<1 ppm)。
?濕度?:露點(diǎn)儀檢測應(yīng)<-40℃,高濕度物品需預(yù)干燥。
?壓力穩(wěn)定性?:壓差波動(dòng)<±3 mbar,防止密封失效。
?注意事項(xiàng)?
禁止過渡艙內(nèi)外門同時(shí)開啟,避免主箱環(huán)境破壞。
液體樣品需用雙層容器密封,防止揮發(fā)氣體污染循環(huán)系統(tǒng)。
若艙內(nèi)氧/濕度超標(biāo),需重新執(zhí)行吹掃或抽真空流程。
定期更換過渡艙密封圈(每1-2年)并潤滑,確保氣密性。
?5. 應(yīng)急處理?
規(guī)范使用過渡艙可維持手套箱的ISO 4級(jí)潔凈環(huán)境,適用于納米材料合成、OLED封裝等高精度工藝需求。