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RION液體粒子在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

液體中的粒子污染對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有著顯著的影響。此外，在人們的消費(fèi)生活中懸浮于液體的粒子特性對(duì)人類也有影響，所以在各個(gè)領(lǐng)域?qū)τ谝后w中粒子的控制也變得尤為重要。液體粒子實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)用戶液體流路進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，同時(shí)產(chǎn)生報(bào)表，用于問題查找分析，是用戶生產(chǎn)管理必不可少的一部分。

液體粒子實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

RION液體粒子在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

液體粒子計(jì)數(shù)器的使用主要是為了控制化學(xué)品種的粒子，如半導(dǎo)體制作過(guò)程中的專用材料SOG（旋轉(zhuǎn)涂布玻璃）和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑（比如堿、有機(jī)溶劑和氫氟酸）。另外，也可以檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液等。

特殊氣體粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

使用在半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池和其他行業(yè)的產(chǎn)品處理中的許多原材料氣體是有毒、易燃、腐蝕性和活躍性的。比如這些氣體會(huì)和水汽發(fā)生反應(yīng)從而輕易產(chǎn)生顆粒物。控制這些反應(yīng)從而抑制粒子在特殊氣體中的污染是很有必要的。