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過(guò)濾是指從流體中去除顆粒。本應(yīng)用說(shuō)明將側(cè)重于從液體中去除固體顆粒。液體顆粒計(jì)數(shù)器的常見用途是評(píng)估過(guò)濾器去除各種粒徑顆粒的效率。典型用途包括上游/下游過(guò)濾器測(cè)試、過(guò)濾流體的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試以及使用點(diǎn) (POU)在線監(jiān)測(cè)。AccuSizer? 已在多個(gè)行業(yè)中用于上游/下游過(guò)濾器測(cè)試、過(guò)濾流體的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試以及使用點(diǎn) (POU)在線監(jiān)測(cè)。

1 簡(jiǎn)介

過(guò)濾是通過(guò)使液體通過(guò)介質(zhì)（過(guò)濾器）來(lái)減少液體中存在的顆粒量，從而從流體（液體或空氣）中去除固體的物理或機(jī)械操作。過(guò)濾器上游的流體是進(jìn)料，通過(guò)介質(zhì)的流體稱為濾液，見圖1。

圖 1. 簡(jiǎn)單過(guò)濾

可使用多種過(guò)濾介質(zhì)，包括活性炭、濾紙、濾筒和硅藻土。不同的介質(zhì)在不同的粒徑范圍內(nèi)具有不同的效率，因此用戶必須為所需的顆粒去除選擇合適的介質(zhì)。

液壓流體動(dòng)力系統(tǒng)的功能之一是分離和潤(rùn)滑部件的運(yùn)動(dòng)部件。固體顆粒污染會(huì)產(chǎn)生磨損，降低效率和部件壽命。液壓過(guò)濾器將系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)的顆粒數(shù)量控制到所需的水平，以匹配所需的系統(tǒng)可靠性。液壓過(guò)濾器的測(cè)試是AccuSizer等液體

顆粒計(jì)數(shù)器的常見應(yīng)用。

在微電子行業(yè)，CMP 漿料通常在其生產(chǎn)過(guò)程和使用過(guò)程中進(jìn)行過(guò)濾。通過(guò)使用過(guò)濾器，可以將工藝過(guò)程中形成的大顆粒從漿料中去除，不會(huì)劃傷晶片。在某些情況下，過(guò)濾器的使用壽命會(huì)受到影響，并且過(guò)濾后會(huì)形成大顆粒，從而導(dǎo)致晶圓上出現(xiàn)缺陷。根據(jù)實(shí)際顆粒數(shù)而不是工作周期或壓力來(lái)決定何時(shí)更換這些過(guò)濾器，可以提高產(chǎn)量并降低過(guò)濾費(fèi)用。

配制成噴墨油墨的顏料通常分散成小顆粒粒徑（取決于應(yīng)用，在約50到200nm之間），并且需要其膠體穩(wěn)定。對(duì)于顏料顆粒而言，粒徑的大小至關(guān)重要，大顆粒可能堵塞噴嘴和通道，對(duì)打印頭造成損壞?？刂拼箢w粒含量（>0.5–1.0μm）需要采用對(duì)少量大顆粒（尾端分布粒子）敏感的技術(shù)。

2 過(guò)濾器測(cè)試

工業(yè)過(guò)濾器的制造商和用戶在設(shè)計(jì)、制造和選擇過(guò)程中定期測(cè)試過(guò)濾器，以確定哪些過(guò)濾器最適合給定的應(yīng)用。過(guò)濾器測(cè)試的常見方法是使用兩個(gè)液體顆粒計(jì)數(shù)器傳感器測(cè)量測(cè)試過(guò)濾器的上游和下游，見圖 2。使用 AccuSizer，客戶可以根據(jù)感興趣的粒徑和濃度范圍選擇適配的傳感器。用于液壓油過(guò)濾器測(cè)試的最常見傳感器是 LE-400 傳感器，范圍為 0.5 – 400 μm。該計(jì)數(shù)器具有 1024 個(gè)粒徑通道的分辨率，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了特殊的用戶要求。如果客戶需要，可以在進(jìn)料傳感器上添加自動(dòng)稀釋功能。

圖2.過(guò)濾器測(cè)試臺(tái)

ISO 16889 中定義的液壓過(guò)濾器測(cè)試的典型數(shù)據(jù)解釋是過(guò)濾比（或 β比），如下式所示，其中 x(c) 是指定的顆粒粒徑。

示例：在 5 μm 時(shí)，過(guò)濾比可以用簡(jiǎn)單的比率或減 1 乘以 100 來(lái)表示。

3 CMP 漿料

AccuSizer 在世界各地的實(shí)驗(yàn)室和工藝中，用于監(jiān)測(cè) CMP 漿料的健康狀況并優(yōu)化過(guò)濾，使晶圓表面缺陷最小化。圖 3 顯示了過(guò)濾器上游（藍(lán)色）和下游（紅色）的 AccuSizer 顆粒計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)。

圖 3. 過(guò)濾器上游/下游的 CMP 漿料

4 噴墨墨水

圖 4 顯示了過(guò)濾測(cè)試的結(jié)果，其中使用 2 μm和 5 μm過(guò)濾器過(guò)濾噴墨墨水。

兩種過(guò)濾器都能改善>1μm的顆粒濃度。大于1μm的未過(guò)濾樣品含有>10萬(wàn)個(gè)顆粒/mL，大于5μm和2μm的樣品分別含有~7萬(wàn)個(gè)和~2萬(wàn)個(gè)顆粒/mL

圖 4. 未過(guò)濾和在 5 μm 和 2 μm 過(guò)濾的噴墨墨水

5 結(jié)論

AccuSizer 可測(cè)試過(guò)濾器和進(jìn)行各種過(guò)濾效率實(shí)驗(yàn)，傳感器基于單粒子光學(xué)傳感技術(shù) (SPOS)，可檢測(cè)較大粒徑范圍和較高顆粒濃度。如需了解更多信息，可撥打400-829-3090電話進(jìn)行咨詢。