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本文摘要

在前面的自動數(shù)據(jù)處理系列文章中，我們介紹了APP軟件并列舉了一些它和馬爾文帕納科的部分XRD分析軟件配合進行自動數(shù)據(jù)處理的實例。但有些測試并不是大批量同類樣品，是否也可以進行自動處理呢？本文我們將針對這個問題進行介紹。

當(dāng)測試并不是大批量同類樣品，可以不在APP里設(shè)置通用的數(shù)據(jù)處理規(guī)則，而是通過使用Data Collector軟件中的General batch程序來做一個單線的、特殊的自動處理。

可能有不少使用馬爾文帕納科衍射儀的小伙伴們已經(jīng)體驗過General batch批處理程序的方便性。在Data Collector軟件中，我們可以點擊工具欄最左側(cè)的新建程序快捷按鈕，在打開的New Program對話框的Program type下拉列表里選擇General batch程序類型，并在Configuration下拉列表中設(shè)置這個批處理要在哪個樣品臺配置下使用，然后點擊OK按鈕，便新建了一個空白的General batch批處理程序。

圖1：新建General batch批處理程序

General batch批處理程序的形式是一個列表，每一行都代表一個步驟。我們可以通過左下角Insert program item框中的四個按鈕往程序中添加不同類型的步驟（注：都會添加到列表中所選中行前面）：

① Insert Measurement Program：插入一個已有的掃描程序，進行一個樣品掃描的動作；

②Insert Batch Settings：插入給儀器的一個指令，可進行移動到某個指定位置、調(diào)整光管功率、校正位置等動作；

③ Insert Timer Settings：插入一個延時定時指令；

④ Insert Command line：插入一句命令行，可以調(diào)用其它軟件或腳本來執(zhí)行某些操作。（注：這個按鈕是在Data Collector 5.4版本時才新加的。）

使用General batch批處理程序進行數(shù)據(jù)自動處理的關(guān)鍵就在④號按鈕。點擊該按鈕后，所打開的對話框如下：

圖2：插入命令行對話框

在本系列文章的第（一）篇中，我們介紹過APP軟件處理規(guī)則里Command和Arguments兩項的設(shè)置，而圖2對話框中的設(shè)置與之類同：

① Command line：等同于APP規(guī)則中的Command項；

② Parameters：等同于APP規(guī)則中的Arguments項，也支持用代碼 %XRDMLFILE% 指代最近剛測試得到的數(shù)據(jù)文件的路徑和文件名

③ 選擇什么時候進行下一步驟：

• Wait until ready：等待到調(diào)用的軟件/腳本處理完數(shù)據(jù)后；

• Continue immediately：不等待，直接進行下一步驟；讓軟件/腳本并行去處理數(shù)據(jù)；

• Continue after：等待指定的時間段后；

但圖1中的①、②號按鈕也不可或缺，特別是對于一些較為復(fù)雜的測試，如薄膜反射率、外延薄膜搖擺曲線等測試，在測量最終的曲線之前，要對樣品進行一系列的優(yōu)化操作，以讓光路與所測晶面（或平面）之間的位置達到最理想的狀態(tài)，而通過這兩個按鈕可以將相關(guān)的操作加入到批處理程序中，再加上圖1中④號按鈕，最終可以將測試過程中的定位、校光、優(yōu)化、測試、分析等一整個流程中的每一個步驟按次序打包到一起構(gòu)成一個自動化量測分析的程序（Recipe）。

如下圖，以薄膜樣品的反射率測試為例：

圖3：反射率測試批處理程序

這個程序中共有十幾個步驟：

各角度、位置歸零；

找到直射光所在2Theta角度；

將直射光2Theta角度位置校正為0點，并移動Z軸到樣品表面基準位置附近；

調(diào)整Z軸找到樣品擋住直射光一半強度的位置；

調(diào)整Omega（入射角）角度找到直射光與樣品表面平行的位置；

將光與表面平行的Omega角度位置校正為0（入射角為0）；

再次調(diào)整Z軸找到樣品（表面已與光平行）擋住直射光一半強度的位置；

移動2Theta（入射角與出射角之和）和Omega角度到全反射臨界角附近；

2Theta角不變，調(diào)整Omega角度找到探測器能接收到反射信號的位置；

調(diào)整傾斜角（Chi角）；

再次調(diào)整Omega角度找到探測器能接收到反射信號的位置；

校正上述Omega角度為2Theta角的一半（入射角=出射角）；

反射率測試并保存數(shù)據(jù)文件；

調(diào)用AMASS軟件使用模板對反射率數(shù)據(jù)進行擬合，并保存擬合項目文件及輸出一個XML格式的擬合結(jié)果文件；通過這個批處理程序，在將樣品放置到樣品臺上后，便可以執(zhí)行這個批處理程序，完成一系列動作，最后得到測量數(shù)據(jù)和擬合分析結(jié)果。