中國(guó)粉體網(wǎng)訊 7月30日,中電科半導(dǎo)體材料有限公司所屬山西爍科晶體有限公司(簡(jiǎn)稱:爍科晶體)年產(chǎn)100萬(wàn)毫米碳化硅單晶項(xiàng)目啟動(dòng)儀式在山西省太原市舉行。
年產(chǎn)100萬(wàn)毫米碳化硅單晶項(xiàng)目是中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司與山西省人民政府戰(zhàn)略共建的央地合作典范,項(xiàng)目投產(chǎn)后將新增100萬(wàn)mm碳化硅單晶和30萬(wàn)片碳化硅襯底的產(chǎn)能,并快速實(shí)現(xiàn)8英寸碳化硅襯底的產(chǎn)業(yè)化和12英寸碳化硅襯底的工程化應(yīng)用。
爍科晶體成立于2018年10月,是國(guó)內(nèi)從事第三代半導(dǎo)體材料SiC生產(chǎn)和研發(fā)的領(lǐng)軍企業(yè),在國(guó)內(nèi)率先完成4、6、8英寸高純半絕緣SiC單晶襯底技術(shù)攻關(guān),同時(shí)也是央企中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司“十二大創(chuàng)新平臺(tái)”之一。
到2020年,該公司的SiC晶片產(chǎn)量已達(dá)3萬(wàn)余片,市場(chǎng)占有率超過(guò)50%。在近年來(lái)的發(fā)展過(guò)程中,公司逐漸形成了SiC粉料制備、單晶生長(zhǎng)、晶片加工等整套生產(chǎn)線。
同時(shí),爍科晶體在碳化硅導(dǎo)電型襯底領(lǐng)域也是全球的佼佼者,尤其是在8英寸碳化硅襯底領(lǐng)域成績(jī)斐然:2021年9月制備出國(guó)內(nèi)首塊8英寸碳化硅單晶,2022年3月又率先加工出8英寸碳化硅單晶襯底,2023年再次率先將8英寸碳化硅襯底厚度降至350微米。
2024年12月26日,山西爍科晶體有限公司成功研制出12英寸(300mm)高純半絕緣碳化硅單晶襯底,并同期研制成功12英寸(300mm)N型碳化硅單晶襯底。這是全球首次實(shí)現(xiàn)300 mm半絕緣SiC晶圓,標(biāo)志著超大尺寸SiC晶體生長(zhǎng)和缺陷控制取得突破。
據(jù)消息,全球首片12英寸高純半絕緣碳化硅襯底的成功研制,圍繞碳化硅基底刻蝕制備衍射光波導(dǎo)鏡片的核心技術(shù)攻關(guān),推動(dòng)碳化硅刻蝕衍射光波導(dǎo)產(chǎn)品的研發(fā)與量產(chǎn)。近年來(lái),爍科晶體與歐洲、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等國(guó)家和地區(qū)的客戶簽訂長(zhǎng)期訂單,國(guó)際市場(chǎng)前景向好。
2025年8月21日,中國(guó)粉體網(wǎng)將在蘇州舉辦第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)及晶圓加工技術(shù)研討會(huì)。屆時(shí)山西爍科晶體有限公司市場(chǎng)經(jīng)理劉曉星將帶來(lái)《碳化硅單晶襯底材料的發(fā)展及展望》的精彩報(bào)告,共同探討碳化硅單晶襯底的發(fā)展現(xiàn)狀及未來(lái)趨勢(shì),歡迎報(bào)名參會(huì)!
來(lái)源:半導(dǎo)體材料行業(yè)協(xié)會(huì)
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青)
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