中國(guó)粉體網(wǎng)訊 碳化硅制造裝備是碳化硅技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，碳化硅單晶生長(zhǎng)爐的技術(shù)水平、工藝能力及自主保障是碳化硅材料向大尺寸、高良率方向發(fā)展的關(guān)鍵，也是牽引第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向低成本、規(guī)�；l(fā)展的主要因素。
目前國(guó)內(nèi)主要的碳化硅長(zhǎng)晶爐廠商主要分為兩種類(lèi)型，一是專(zhuān)業(yè)晶體生長(zhǎng)設(shè)備供應(yīng)商，二是碳化硅襯底廠商（采用自研/自產(chǎn)設(shè)備的模式），在兩者共同推動(dòng)下，基本實(shí)現(xiàn)了設(shè)備國(guó)產(chǎn)化。
北方華創(chuàng)
北方華創(chuàng)成立于2001年9月，2010年在深圳證券交易所上市，是北京市國(guó)資委一級(jí)企業(yè)北京電子控股有限責(zé)任公司下屬的國(guó)有控股上市公司，是目前國(guó)內(nèi)集成電路高端工藝裝備的先進(jìn)企業(yè)。在半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)板塊，北方華創(chuàng)的主要產(chǎn)品包括刻蝕、薄膜沉積、爐管、清洗、晶體生長(zhǎng)等核心工藝裝備，更是碳化硅單晶爐主要的國(guó)產(chǎn)企業(yè)。
北方華創(chuàng)已具備300臺(tái)/月的6英寸SiC長(zhǎng)晶爐交付能力，在8英寸SiC長(zhǎng)晶設(shè)備方面則已開(kāi)發(fā)了3種機(jī)型。在供貨方面，北方華創(chuàng)已經(jīng)向國(guó)內(nèi)多家下游SiC材料主流廠商實(shí)現(xiàn)大批量交付。
晶升股份
晶升股份成立于2012年2月，是一家專(zhuān)業(yè)從事8-12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐、6-8英寸碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料長(zhǎng)晶設(shè)備及工藝開(kāi)發(fā)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。2023年，晶升股份液相法SiC晶體生長(zhǎng)設(shè)備研究取得新進(jìn)展，成功研發(fā)出該設(shè)備并提供給多家客戶(hù)。同年公司科創(chuàng)板上市，募資加速擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)。
晶升股份在SiC單晶爐主要技術(shù)指標(biāo)方面具有先進(jìn)性，可達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外主流廠商技術(shù)水平。目前，公司的8英寸碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備已向多家客戶(hù)交付并通過(guò)驗(yàn)收，2025年二季度8英寸設(shè)備將批量交付于中國(guó)大陸及中國(guó)臺(tái)灣客戶(hù)。
連城數(shù)控
連城數(shù)控成立于2007年，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涉及半導(dǎo)體與光伏兩大賽道。2023年設(shè)立全資子公司連科半導(dǎo)體，聚焦和專(zhuān)注于硅及碳化硅領(lǐng)域裝備的研發(fā)和制造，并在無(wú)錫規(guī)劃建設(shè)半導(dǎo)體大硅片長(zhǎng)晶和加工設(shè)備、碳化硅長(zhǎng)晶和加工設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)制造基地，以推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，提高市場(chǎng)占有率。同年，連城數(shù)控液相法碳化硅長(zhǎng)晶爐順利下線；2024年5月上線“新一代8英寸碳化硅長(zhǎng)晶爐”。
恒普技術(shù)
寧波恒普技術(shù)股份有限公司成立于2011年，是一家以材料研究為基礎(chǔ)，以高溫?zé)釄?chǎng)環(huán)境控制為技術(shù)核心的金屬注射成形(MIM)領(lǐng)域和寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備供應(yīng)商，主要從事金屬注射成形(MIM)脫脂燒結(jié)爐、碳化硅晶體生長(zhǎng)爐、碳化硅同質(zhì)外延設(shè)備等熱工裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。目前的產(chǎn)品包含水冷夾套式金屬腔體SiC長(zhǎng)晶爐、雙石英管SiC長(zhǎng)晶爐、水平線圈式⻓晶爐、單石英管SiC長(zhǎng)晶爐等，以軸徑分離為核心技術(shù)，應(yīng)用于電阻式長(zhǎng)晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。
優(yōu)晶科技
蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司成立于2010年，是一家專(zhuān)注于大尺寸（6英寸及以上）導(dǎo)電型碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。優(yōu)晶科技經(jīng)多年努力研發(fā)電阻法碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備及工藝，于2019年成功研制出6英寸電阻法碳化硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備，經(jīng)持續(xù)工藝優(yōu)化，目前已推出至第四代機(jī)型UKING ERH SiC RV4.0電阻法碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備，可用于6英寸、8英寸量產(chǎn)。
科友半導(dǎo)體
哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司自2018年成立以來(lái)，以第三代半導(dǎo)體碳化硅為核心，構(gòu)建了從裝備研發(fā)到襯底制造的全產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)。在第三代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，科友已形成三大技術(shù)壁壘：長(zhǎng)晶設(shè)備自動(dòng)化控制、高純度材料制備工藝、定制化設(shè)備開(kāi)發(fā)能力。其自主研發(fā)的電阻式碳化硅長(zhǎng)晶爐，突破了國(guó)際技術(shù)封鎖，該設(shè)備長(zhǎng)出的晶體具有“應(yīng)力低、品質(zhì)高、一致性好”的特點(diǎn)，良品率顯著優(yōu)于傳統(tǒng)感應(yīng)式設(shè)備。
天科合達(dá)
北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司成立于2006年9月，產(chǎn)業(yè)涵蓋碳化硅單晶爐制造、碳化硅單晶襯底制備和碳化硅外延片制備。該公司擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“PVT 碳化硅單晶生長(zhǎng)爐制造技術(shù)”、“高純度碳化硅生長(zhǎng)原料合成技術(shù)”、“PVT 碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)”、“低翹曲度碳化硅晶體切割技術(shù)”、 “碳化硅晶片精密研磨拋光技術(shù)”和“即開(kāi)即用的碳化硅晶片清洗技術(shù)”等六大核心技術(shù)體系。其第五代長(zhǎng)晶爐支持8英寸襯底生產(chǎn)。
力冠微電子
山東力冠微電子裝備有限公司成立于2013年，產(chǎn)品涵蓋第一代至第四代半導(dǎo)體材料工藝裝備，均擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，完全自主可控。其自主研發(fā)的8英寸PVT碳化硅長(zhǎng)晶爐已實(shí)現(xiàn)批量銷(xiāo)售，涵蓋感應(yīng)加熱與電阻加熱兩種技術(shù)路線，可靈活適配導(dǎo)電型與半絕緣型碳化硅晶體的生長(zhǎng)需求。同時(shí)，該公司進(jìn)一步攻克了12英寸PVT電阻加熱長(zhǎng)晶爐的研發(fā)難關(guān)，并已完成首批兩臺(tái)設(shè)備的交付。
中科漢達(dá)
沈陽(yáng)中科漢達(dá)科技有限公司創(chuàng)建于2018年，總部位于沈陽(yáng)市國(guó)家自主創(chuàng)新示范核心渾南區(qū)，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料制備裝備和真空非標(biāo)裝置的高新技術(shù)企業(yè)。公司可提供6-8英寸碳化硅晶體制備、晶體生長(zhǎng)、工藝退火全流程裝備，其感應(yīng)法碳化硅長(zhǎng)晶爐適用于物理氣相傳輸法（PVT）生長(zhǎng)6-8英寸碳化硅單晶，采用雙層立式石英管水冷結(jié)構(gòu)提供穩(wěn)定的長(zhǎng)晶環(huán)境，具有生長(zhǎng)高品質(zhì)晶體、性能穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)。
卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體
江蘇卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司成立于2018年，專(zhuān)注于寬禁帶半導(dǎo)體晶體裝備及其材料的研發(fā)生產(chǎn)與制造，主營(yíng)業(yè)務(wù)有寬禁帶半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)裝備、金剛石與碳化硅晶體工藝及解決方案以及在智慧電網(wǎng)、新能源汽車(chē)等領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用。公司可提供PVT法SiC長(zhǎng)晶爐，支持6-8英寸晶體生長(zhǎng)。
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（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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