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【原創(chuàng)】誰在定義高純石英砂的“天花板”?


來源:中國粉體網(wǎng)   初末

[導(dǎo)讀]  光伏、半導(dǎo)體、光纖三大行業(yè):高純石英砂標(biāo)準(zhǔn)誰更“卷”?

中國粉體網(wǎng)訊  高純石英砂扮演著不可或缺卻常被忽視的戰(zhàn)略性基礎(chǔ)原料角色。其純度、雜質(zhì)含量以及物理化學(xué)性質(zhì),直接決定了終端產(chǎn)品的性能、良率與可靠性。由于光伏、半導(dǎo)體和光纖這三大行業(yè)各自的技術(shù)特點、工藝流程以及應(yīng)用場景截然不同,高純石英砂的品質(zhì)“天花板”正在被不同行業(yè)的技術(shù)需求反復(fù)重寫。


光伏用高純石英砂


高純石英砂是生產(chǎn)光伏石英坩堝的關(guān)鍵原料,而石英坩堝是生產(chǎn)單晶硅棒和多晶硅錠的核心設(shè)備。單晶硅棒和多晶硅錠是制造太陽能電池板的基礎(chǔ)材料,其質(zhì)量直接影響到太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率和使用壽命。因此,高純石英砂的純度和質(zhì)量,對于整個光伏產(chǎn)業(yè)鏈的性能和成本控制具有決定性的影響。


由國檢集團、石英股份、中建材衢州金格蘭石英、歐晶科技、長飛石英、菲利華等單位起草的國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 45823-2025《光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂》中規(guī)定了光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂的要求。


標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)時內(nèi)層用高純石英砂的生產(chǎn)、檢驗、交付和驗收,包括以天然石英礦石或水晶等為原料,通過加工、提純等生產(chǎn)工藝制備的天然石英砂,以及高純含硅物質(zhì)為原料,采用物理、化學(xué)方法制備的合成石英砂,其中,石英砂二氧化硅含量(減量法)應(yīng)不小于99.99800%。


GB/T 45823-2025《光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂》

雜質(zhì)元素含量




2025年5月,中國技術(shù)市場協(xié)會發(fā)布團體標(biāo)準(zhǔn)《光伏級高純石英砂》征求意見稿,意見稿由河南協(xié)鑫硅基新材料有限公司提出,天長硅基新材料有限公司、北京石晶光電科技股份有限公司、河南省億焰新材料有限公司等共同起草,文件規(guī)定了光伏級高純石英砂的技術(shù)要求、試驗方法等。


團體標(biāo)準(zhǔn)《光伏級高純石英砂》征求意見稿(2025年)

物理指標(biāo)




團體標(biāo)準(zhǔn)《光伏級高純石英砂》征求意見稿(2025年)

成分規(guī)定


由國家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、東?h產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所、中國建材檢驗認(rèn)證集團股份有限公司、連云港福東正佑照明電器有限公司、江蘇太平洋石英股份有限公司、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院起草的國家標(biāo)準(zhǔn)《GB/T 32649-2016光伏用高純石英砂》規(guī)定了光伏用高純石英砂的技術(shù)要求,標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏用高純石英砂,產(chǎn)品用于單晶硅、多晶硅光伏生產(chǎn)用的擴散管、承載器及電弧法坩堝等石英制品。


其中,光伏用高純石英砂的粒徑應(yīng)在70μm~350μm范圍內(nèi),且在該粒徑范圍的累積質(zhì)量分?jǐn)?shù)應(yīng)大于或等于90%。粒徑小于100μm或大于300μm的累積質(zhì)量分?jǐn)?shù)均應(yīng)小于1%;光伏用高純石英砂中二氧化硅含量應(yīng)大于或等于99.99%,灼燒失量應(yīng)小于或等于0.01%;光伏用高純石英砂雜質(zhì)元素總含量應(yīng)小于或等于25g/g,其中鉀、鈉含量總和小于2.5g/g。


GB/T 32649-2016《光伏用高純石英砂》

各雜質(zhì)元素含量



半導(dǎo)體用高純石英砂


隨著芯片制程技術(shù)的不斷進(jìn)步,對原材料純度的要求也越來越高。電子級高純石英砂因其高純度、低雜質(zhì)含量等特性,成為制造高端芯片不可或缺的原材料。


在半導(dǎo)體行業(yè)中,高純石英主要用于制備石英坩堝和作為晶圓加工輔材。石英坩堝主要用于生長單晶硅,是半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺的容器;在晶圓加工的刻蝕、擴散、氧化、退火等工序中需要用到大量石英片、石英環(huán)、石英舟等高純石英輔材。


在半導(dǎo)體行業(yè),石英坩堝對堿金屬和過渡金屬等雜質(zhì)含量有較高要求,堿金屬雜質(zhì)會影響石英坩堝的熱學(xué)特性,降低石英制品的耐溫性,使其熔點降低,高溫性能變差;過渡金屬雜質(zhì)會降低導(dǎo)電性,縮減半導(dǎo)體的使用壽命,雜質(zhì)含量高還會產(chǎn)生氣泡和色斑等缺陷,降低石英坩堝的透明度,嚴(yán)重時還會影響石英坩堝成型。


由廊坊赫爾勞斯太陽能光伏有限公司地方標(biāo)準(zhǔn)《DB 13/T 5631—2022電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范》中規(guī)定了電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝原輔材料的標(biāo)準(zhǔn)。


DB 13/T 5631—2022《電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范》

石英砂雜質(zhì)元素含量


由內(nèi)蒙古歐晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司、錦州佑鑫石英科技有限公司為主要起草單位編制的團體標(biāo)準(zhǔn)T/CEMIA 023—2021《半導(dǎo)體單晶硅生長用石英坩堝》中規(guī)定了半導(dǎo)體單晶硅生長用石英坩堝主要原輔材料的標(biāo)準(zhǔn)。


T/CEMIA 023—2021《半導(dǎo)體單晶硅生長用石英坩堝》

石英砂雜質(zhì)元素含量


由浙江美晶新材料股份有限公司、寧夏鑫晶新材料科技有限公司、遼寧拓邦鴻基半導(dǎo)體材料股份有限公司、江蘇泓順硅基半導(dǎo)體科技有限公司共同起草的T/QGCML 4167—2024《半導(dǎo)體石英坩堝生產(chǎn)用高純石英砂》團體標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體石英坩堝生產(chǎn)用高純石英砂的術(shù)語和定義、技術(shù)要求等,文件適用于半導(dǎo)體石英坩堝生產(chǎn)用高純石英砂。其中,高純石英砂中二氧化硅含量應(yīng)≥99.998%。


T/QGCML 4167—2024《半導(dǎo)體石英坩堝生產(chǎn)用高純石英砂》

粒度要求


T/QGCML 4167—2024《半導(dǎo)體石英坩堝生產(chǎn)用高純石英砂》

各雜質(zhì)元素含量


2025年5月,中國技術(shù)市場協(xié)會發(fā)布團體標(biāo)準(zhǔn)《電子級高純石英砂》征求意見稿,意見稿由酒泉恒瑞新石英材料有限公司提出,河南協(xié)鑫硅基新材料有限公司、天長硅基新材料有限公司等共同起草。意見稿規(guī)定了電子級高純石英砂的技術(shù)要求,指出粒度為0.075mm~0.25mm的顆粒,含量不應(yīng)小于95.0%。


團體標(biāo)準(zhǔn)《電子級高純石英砂》征求意見稿(2025年)

成分規(guī)定


光纖用高純石英砂


電子通信技術(shù)的發(fā)展對通信設(shè)備提出了更高的要求。與其他通信材料相比,石英光纖具有傳輸距離更遠(yuǎn)、速度更快、信號損耗率更低、不受電磁信號影響等優(yōu)點,可以更好、更快地滿足信息發(fā)送與接收需求。在預(yù)制棒制作階段,石英中的羥基會擴散到芯層內(nèi),導(dǎo)致光纖衰減超標(biāo);過渡金屬離子會導(dǎo)致微觀不均勻,增加光纖損耗,嚴(yán)重時會導(dǎo)致信號失真。因此必須對光纖制程用高純石英砂的性能進(jìn)行控制。


由中國建筑材料聯(lián)合會提出,久智光電、富通信息、國檢集團、中國建筑材料科學(xué)研究總院、中建材衢州金格蘭石英、菲利華融鑒共同起草的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JC/T 2832-2024《光纖制程用高純石英砂》中規(guī)定了光纖制程用高純石英砂的分級、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸和貯存。文件適用于光纖主材、光纖輔材制程用高純石英砂,包括以天然石英礦為原料通過加工、提純等生產(chǎn)工藝制備的石英砂,以及以含硅化合物為原料、采用物理、化學(xué)方法制備的合成石英砂。


文件中指出,石英砂按雜質(zhì)元素含量分為Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級。石英砂粒度分布以特定累計體積百分比下顆粒粒徑范圍表示。等離子體熔融法、氣煉熔融法、連熔法等石英制備工藝對石英砂粒度分布有不同要求。


JC/T 2832-2024《光纖制程用高純石英砂》

石英砂粒度分布


石英砂費雷特最長直徑與費雷特最短直徑之比不大于2:1的顆粒數(shù)量占比90%以上,石英砂各雜質(zhì)元素含量應(yīng)不超過規(guī)定。


JC/T 2832-2024《光纖制程用高純石英砂》

石英砂雜質(zhì)元素含量要求


參考來源:

武志超等.高純石英應(yīng)用及化學(xué)提純技術(shù)研究進(jìn)展

GB/T 45823-2025《光伏單晶硅生長用石英坩堝高純內(nèi)層砂》

團體標(biāo)準(zhǔn)《光伏級高純石英砂》征求意見稿

GB/T 32649-2016《光伏用高純石英砂》

DB 13/T 5631—2022《電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范》

T/CEMIA 023—2021《半導(dǎo)體單晶硅生長用石英坩堝》

T/QGCML 4167—2024《半導(dǎo)體石英坩堝生產(chǎn)用高純石英砂》

團體標(biāo)準(zhǔn)《電子級高純石英砂》征求意見稿

JC/T 2832-2024《光纖制程用高純石英砂》


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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