中國粉體網(wǎng)訊  近日，國家知識產(chǎn)權局信息顯示，昂士特科技（深圳）有限公司（以下簡稱“昂士特”）取得一項名為“一種用于金屬合金的化學機械拋光組合物及其拋光方法”的專利，無腐蝕拋光設備中的金屬部件的風險。

來源：國家知識產(chǎn)權局

化學機械拋光技術是目前應用最廣且能夠?qū)崿F(xiàn)全局和局部平坦化的技術。該技術綜合了拋光液的化學腐蝕作用和磨粒及拋光墊的機械去除作用，以實現(xiàn)拋光后工件表面的良好質(zhì)量、無損傷和高面形精度。

在拋光過程中，拋光液中的化學添加劑和材料表面發(fā)生反應，會在被拋材料表面形成一層很薄、結(jié)合力較弱的“軟化層”，之后磨粒在壓力和摩擦作用下對材料表面進行細微無損地去除。

但一些應用廣泛的金屬合金耐腐蝕性差，嚴重制約其推廣，比如鎂合金。鎂合金作為迄今為止發(fā)現(xiàn)的最輕的金屬合金之一，具有低密度、高比剛度和強度，以及優(yōu)異的電磁屏蔽性能，在航空航天、交通運輸和 3C 產(chǎn)品領域具有廣泛的應用，但因其耐腐蝕性差，影響其發(fā)展。

昂士特本次發(fā)明“一種用于金屬合金的化學機械拋光組合物及拋光方法”。該組合物包含氧化鋁磨粒、氧化劑、分散劑、pH調(diào)節(jié)劑，其中，所述分散劑為納米粘土，所述納米粘土具有至多1000nm的z平均粒徑。該組合物能用于金屬合金基材平面的拋光，其具有接近中性的pH值，無腐蝕拋光設備中的金屬部件的風險。

昂士特成立于2019年初，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高新技術企業(yè)，致力于開發(fā)集成電路關鍵緊缺新型材料。公司秉承“鍥而不舍、奉獻擔當”的價值理念，堅持“自主研發(fā)、規(guī)模生產(chǎn)”的目標宗旨，力求為全球客戶提供最優(yōu)質(zhì)的拋光液以及最佳的表面技術解決方案。昂士特總部及研發(fā)中心位于粵港澳大灣區(qū)核心城市——深圳市，華東生產(chǎn)基地與先進技術研究院位于半導體產(chǎn)業(yè)新興基地——合肥市。公司核心團隊具有多年的高科技研發(fā)及客戶服務經(jīng)驗，具備扎實的技術背景和先進的管理理念。

參考來源：

[1]國家知識產(chǎn)權局、昂士特官網(wǎng)

[2]許寧等，CeO₂基磨粒在化學機械拋光中的研究進展

[3]趙仕程，鎂合金的化學機械拋光液研究

[4]李雯浩等，IC互連金屬及其阻擋層化學機械拋光的研究進展

[5]孫興漢等，碳化硅化學機械拋光中材料去除非均勻性研究進展

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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