中國粉體網訊  拋光液是由磨粒、化學助劑和液相介質（水系或油系）組成的均勻混合物，在研磨拋光過程中起著極為重要的作用。

研磨工藝和拋光工藝存在很大不同，若想要同時達到研磨和拋光的效果，需要同時考慮兩種去除機理。

研磨過程中的材料去除主要為脆性破壞機理。在加工過程中，研磨液中的磨粒夾雜在加工件和磨具之間，在加工件和磨具產生相對運動時，磨粒在加工件表面產生滾動或滑動效果，此時，不規(guī)則磨粒的尖端被強制擠壓到加工件表面，使加工件產生裂紋發(fā)生脆性破損。并且，隨著工件的往復運動，磨粒在材料表面產生的應力會越來越大，裂紋在橫向和縱向的擴展也會相應增加，從而達到研磨工件表面的目的。當然，在研磨工藝之后，由于磨粒在工件表面之間的滾動也會使研磨產品的表面殘留微小的裂紋和少量的壓應力。

在拋光操作中，材料的去除機理主要為塑性破壞機理。當磨粒經過加工件表面時，若磨粒的硬度較低，會在加工件的表面滾動發(fā)生脆性破壞。但如果磨粒的硬度較高，磨粒會嵌入加工件表面，在往返運動過程中對加工件表面進行超微量研磨，此過程被稱為拋光。此機理過程選擇的磨粒硬度都非常高。

因此，磨粒的選擇是否正確將直接關系到材料的去除效果和磨具的使用壽命。

精密研磨拋光液中液相介質的作用歸結為以下兩點：一方面，在研磨、拋光過程中能夠調和磨料使磨料均勻分布；另一方面，液相介質的流動性可以帶走因摩擦產生的熱量并起到潤滑磨具的作用。在研磨拋光液的制備中，通常選擇水系介質和油系介質作為液相介質。由于無機磨粒與水性介質的表面存在一定的共性，所以水性介質一直是懸浮液制備過程中液相介質研究的重點。

化學助劑則在液相介質和磨粒之間起中間橋梁的作用，其能吸附在固體顆粒表面以產生高位壘使顆粒分散開來。因磨粒一般選用的是無機材料，若液相介質為水性，則水分子與無機材料之間存在大小不一的電位差，若無化學助劑的調節(jié)會引起無機粒子迅速團聚；若液相介質為油性，則有機油系與無機材料之間呈現極差的相容性，粒子團聚更加嚴重。因此，化學助劑的存在是保證磨粒在液相介質中分布均勻和在短時間內不產生沉淀的必要條件。

對于精密研磨拋光液而言，磨粒、化學助劑和液相介質的合理選擇是制備精密研磨拋光液的前提。

研磨拋光技術在集成電路芯片的制作中具有重要作用，針對高端研磨拋光相關的技術、材料、設備、市場等方面的問題，中國粉體網將于2025年4月16日在河南鄭州舉辦2025第二屆高端研磨拋光材料技術大會。屆時，新鄉(xiāng)學院教授陳瑋將作題為《水性拋光膏的制備與應用》的報告，報告中指出，采用多元醇及有機酸為基礎承載物，添加穩(wěn)定劑、分散劑、賦形劑等不同功能性添加劑，通過納米乳化技術，制備出用途廣泛的水性拋光膏母液，在這種母液中，添加金剛石、片狀氧化鋁、類球形氧化鋁等磨料顆粒，可以制備出適合于氧化鋁陶瓷、氮化硅陶瓷、不銹鋼等材料精細拋光的拋光液。這種方法制備的水性拋光液具有用途廣泛、適應性強、制備方法簡單實用等優(yōu)點。

專家簡介：

陳瑋，男，工學博士，教授級高工。本科、碩士、均博士畢業(yè)于中南大學，獲工學博士學位。1995年起在鄭州輕金屬研究院參加工作，一直從事新材料的研究開發(fā)工作，開發(fā)出超高壓電器用關鍵材料、精細陶瓷，精細拋光關鍵材料，鋰離子電池陶瓷隔膜關鍵材料等多項高新技術產品，全部實現產業(yè)化。2018年7月就職于新鄉(xiāng)學院。目前主要從事新材料、鋰電材料、高技術陶瓷、拋光材料的研究與開發(fā)與產業(yè)化工作。 主持國家級項目4項，中鋁公司科研項目10多項，發(fā)表科技論文20余篇，獲得國家發(fā)明專利8項，獲省部級一等獎2項，二等獎6項。2020年獲得大學生挑戰(zhàn)杯創(chuàng)業(yè)計劃河南省特等獎，優(yōu)秀指導教師，大學生挑戰(zhàn)杯創(chuàng)業(yè)計劃國家級銅獎。

參考來源：

李春雪，油性碳化硅精密研磨拋光液的懸浮性研究

（中國粉體網編輯整理/山林）

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