半導體行業(yè)作為現(xiàn)代科技的基石，被譽為“工業(yè)糧食”，盡管會經(jīng)歷周期性波動，但長期規(guī)模呈穩(wěn)步上升趨勢。據(jù)WSTS預測，2024年全球半導體市場將同比增長19.0%，達到6270億美元。集成電路產(chǎn)業(yè)鏈涵蓋設(shè)備、材料、設(shè)計、制造及封測等環(huán)節(jié)，其中設(shè)計和制造是利潤核心。行業(yè)特點包括硅周期與經(jīng)濟周期的疊加、下游應(yīng)用的持續(xù)迭代以及“牛鞭效應(yīng)”導致的供需失衡。技術(shù)發(fā)展動力主要來自“摩爾定律”和“安迪-比爾定律”，同時政策支持也是重要的外部驅(qū)動力，如中國的大基金扶持政策。

高純氧化鋁粉體因其良好的化學穩(wěn)定性、耐高溫、強度大、絕緣性能好且耐磨性好，而被普遍應(yīng)用在電子、催化、半導體和航空航天等領(lǐng)域。

例如，在半導體刻蝕設(shè)備中，刻蝕機腔室材料作為晶圓污染的主要來源，等離子刻蝕對其影響程度決定了晶圓的良率、質(zhì)量、刻蝕工藝的穩(wěn)定性等等。因此，研究和開發(fā)出一種極其耐刻蝕腔體材料成為半導體集成產(chǎn)業(yè)以及等離子刻蝕技術(shù)中一項極具挑戰(zhàn)的任務(wù)。當前，主要采用高純Al2O3涂層或Al2O3陶瓷作為刻蝕腔體和腔體內(nèi)部件的防護材料。除了腔體以外，等離子體設(shè)備的氣體噴嘴，氣體分配盤和固定晶圓的固定環(huán)等也需用到高純氧化鋁陶瓷。再例如在晶圓拋光工藝中，氧化鋁陶瓷可被廣泛應(yīng)用于拋光板、拋光磨墊校正平臺、真空吸盤等。

然而，作為半導體產(chǎn)業(yè)的重要支撐材料之一，對氧化鋁材料的技術(shù)研發(fā)和突破在我國仍較薄弱，國產(chǎn)高端氧化鋁材料市場占有率僅有 3%-5%。圣華特瓷（北京）科技有限公司（以下簡稱“圣華特瓷”）自成立之初就投入大量資金、人力對a相高純納米氧化鋁粉體進行研發(fā)，致力于解決我國在氧化鋁新材料領(lǐng)域的“卡脖子”問題。

目前，圣華特瓷已實現(xiàn)年產(chǎn)各類高純度納米級a-氧化鋁粉體產(chǎn)品超300噸，建設(shè)研發(fā)中心1個，生產(chǎn)基地2個。公司產(chǎn)品已應(yīng)用于半導體CMP拋光、陶瓷靜電卡盤制造、陶瓷電子基板制造、復合材料制造等領(lǐng)域，產(chǎn)品品質(zhì)獲得國內(nèi)多家相關(guān)領(lǐng)域龍頭企業(yè)與科研機構(gòu)認可。

圣華特瓷可按客戶需求生產(chǎn)各種規(guī)格指標產(chǎn)品，并確保質(zhì)量過硬，供貨穩(wěn)定。

•SHTC-201高純納米級氧化鋁微粉

•SHTC-301高純納米級氧化鋁微粉

【產(chǎn)品特性】

* MgO為添加劑，不作為Al2O3中的雜質(zhì)計算。

**未添加助焊劑，樣品在29.4MPa(300kg/cm2),1100℃下燒結(jié)。

•低溫燒結(jié)高強度氧化鋁粉體

【產(chǎn)品特點】本產(chǎn)品在較低溫度下燒結(jié)即可實現(xiàn)高強度、高密度，適用于對產(chǎn)品機械強度、耐磨性有較高要求的行業(yè)領(lǐng)域。

【適用領(lǐng)域】電子陶瓷基板、半導體結(jié)構(gòu)件等領(lǐng)域。

•高純納米氧化鋁材料是圣華陶瓷推出的新產(chǎn)品，在半導體行業(yè)中發(fā)揮著重要作用。

【產(chǎn)品特性】

結(jié)語

圣華特瓷深耕納米氧化鋁領(lǐng)域，以自主創(chuàng)新打破技術(shù)壁壘，推出多款高純度、高性能粉體及陶瓷產(chǎn)品，助力半導體設(shè)備與工藝升級。公司以穩(wěn)定供應(yīng)、定制化服務(wù)及卓越品質(zhì)為基石，誠邀產(chǎn)業(yè)鏈伙伴攜手合作，共拓國產(chǎn)高端材料新篇章！歡迎垂詢，共創(chuàng)價值。

參考來源：

[1] 陳雪誼等.高純氧化鋁粉體可控綠色合成及其吸附性能研究

[2] 半導體產(chǎn)業(yè)報告.大國博弈下的半導體產(chǎn)業(yè)：發(fā)展趨勢與變革

[3] 粉體網(wǎng).高純氧化鋁陶瓷：四大領(lǐng)域的關(guān)鍵‘瓷’器，盡顯“純凈”魅力

[4] 圣華特瓷（北京）科技有限公司官網(wǎng)、粉體網(wǎng)企業(yè)展臺