中國粉體網訊  近日，由TC447（全國工業(yè)玻璃和特種玻璃標準化技術委員會）歸口，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司、中國建筑材料科學研究總院有限公司、中國國檢測試控股集團股份有限公司、玻璃新材料創(chuàng)新中心（安徽）有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、中國科學院微電子研究所、北京理工大學、中國計量科學研究院、中科院光電技術研究所、中科院上海硅酸鹽研究所、中建材玻璃新材料研究院集團有限公司共同起草的國家標準《光刻用摻鈦石英玻璃》公開征求意見。

光刻機被譽為“現代光學工業(yè)之花”，其光刻分辨率決定了集成電路圖形的特征尺寸。根據摩爾定律，集成電路上可容納的元器件數目，約每隔18-24月便會增加一倍，性能也將提升一倍。其中，縮短曝光波長是提高分辨率的最直接途徑，從上世紀80年代以來光刻技術所采用的光源波長經歷了5代產品的發(fā)展，每次光源的改進都顯著提升了芯片技術節(jié)點。

作為最先進的光刻技術，極紫外光刻機被行業(yè)賦予拯救摩爾定律的使命，是當今國際上唯一能夠做到生產7nm及以下制程芯片的設備，尤其是數值孔徑達0.55的極紫外光刻機單臺售價高達3億美元。因此，開展極紫外光刻技術研究是國際集成電路產業(yè)發(fā)展的必然趨勢。

極紫外光刻技術中為減小掩模和投影物鏡系統(tǒng)的熱變形，掩模和反射鏡基底必須選擇超低熱膨脹系數的材料。摻鈦石英玻璃是以SiO₂為主要成分，通過適量摻雜TiO₂，從而變成具有超低熱膨脹系數的特種玻璃。其溫度膨脹系數極低且根據TiO₂的摻雜比例可以調控溫度膨脹特性。通常，摻鈦石英玻璃的熱膨脹系數可達到10-8/℃～10-9/℃量級甚至達到零膨脹，是極紫外光刻的必選材料。

由于光刻機用摻鈦石英玻璃在熱膨脹系數及其空間分布均勻性、熱膨脹系數過零溫度點、可加工特性、應力、氣泡雜質等方面都有特殊的要求，目前該類材料只有美國康寧、德國賀利氏、日本尼康等公司掌握該類材料的生產關鍵技術，而我國目前研制的摻鈦石英玻璃還無法滿足當前極紫外光刻的應用需求，所以國內相關團隊正在攻關解決該類材料存在的關鍵技術問題。

因此，針對國內光刻用摻鈦石英玻璃，急需制定相適應的產品規(guī)范用以指導我國光刻用摻鈦石英玻璃材料研發(fā)與生產工藝技術優(yōu)化、產品質量檢測及產業(yè)應用選型，解決當前光刻用摻鈦石英玻璃產品存在的規(guī)范問題。

據悉，國家標準《光刻用摻鈦石英玻璃》主要內容規(guī)定了光刻用摻鈦石英玻璃的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸和貯存。適用于光刻用摻鈦石英玻璃產品，其他類似石英玻璃產品可參照使用。

參考來源：國家市場監(jiān)督管理總局標準技術管理司、全國標準信息公開服務平臺

（中國粉體網編輯整理/初末）

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