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千噸級多晶硅生產(chǎn)技術獲新突破 填補國內空白


來源:新華網(wǎng)

6月2日,由洛陽中硅高科承擔的三個國家“十一五”科技支撐計劃課題——“大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究”、“高效加壓還原爐系統(tǒng)研究”、“大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究”和一項參與完成的課題“多晶硅標準、專利體系建設與研究”,順利通過了驗收評審。這四項科技成果解決了規(guī);嗑Ч枭a(chǎn)中的瓶頸問題,打破了國外技術封鎖,填補了國內空白,標志著我國千噸級多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術又獲新突破。

  驗收評審會由國家科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會組織召開。專家組成員在深入實地考察了課題現(xiàn)場后,經(jīng)過認真質疑和討論,一致同意以上四個項目通過驗收。

  多晶硅是集成電路和光伏發(fā)電用關鍵原材料,是國家重點鼓勵發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)。為滿足集成電路與光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)對高純多晶硅材料的迫切需求,2006年科技部啟動了“十一五”國家科技支撐計劃“多晶硅材料產(chǎn)業(yè)關鍵技術開發(fā)”重點項目,中硅高科承擔、參與完成了上述四項課題。

  據(jù)介紹,這些研發(fā)成果在年產(chǎn)1000噸多晶硅生產(chǎn)線上推廣應用后,運轉狀況良好,提高了多晶硅生產(chǎn)單爐和綜合產(chǎn)能,大大降低了生產(chǎn)成本,提高了產(chǎn)品質量,有力提升了我國多晶硅產(chǎn)業(yè)綜合競爭力,使我國多晶硅生產(chǎn)進入世界大國、強國行列。
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