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低壓 硼擴(kuò)散爐 氧化 退火爐品牌
賽瑞達(dá)產(chǎn)地
江蘇樣本
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優(yōu)勢(shì)
◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)
◆工藝過(guò)程中APC良好的控制工藝管壓力
◆使用Sic槳使加載區(qū)穩(wěn)定
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù)，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用
硬件規(guī)格
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度:2800mm
◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)
◆**溫度:1050℃
◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
◆槳的**承重量:100kg
◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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