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特點:

SURFTENS Hl automati全自動接觸角測量儀專為半導體工業(yè)和科研領(lǐng)域設(shè)計,尤其適用于晶圓涂覆及光刻工藝中的工藝控制。

其主要特性包括

全自動接觸角測繪功能

緊湊型設(shè)計,節(jié)省空間

配備電機驅(qū)動的晶圓臺(X/軸)，,實現(xiàn)自動樣品定位

電機控制的自動化加液單元

自動化液滴放置功能

軟件控制全自動測量序列

測量結(jié)果可通過報告文檔及視頻圖像進行系統(tǒng)化記錄與分析

快速的接觸角和表面均勻性測量:

SURFTENS HL automatic專為潔凈室環(huán)境設(shè)計,緊湊的結(jié)構(gòu)、極短的測量周期以及簡單的操作流程,在同類產(chǎn)品中表現(xiàn)優(yōu)異。其配備步進電機驅(qū)動的 x/p 載物臺,可快速實現(xiàn)晶員上任意點的接觸角測量。

SURFTENS HL automati僅需數(shù)秒即可完成對晶圓表面特性的均與性評估,測量結(jié)果的輸出同樣高效便捷,支持將數(shù)據(jù)直接傳輸至質(zhì)量保證(QA)軟件或根據(jù)需求配置為其他格式。同時,系統(tǒng)會在“邊緣角統(tǒng)計”標簽頁中匯總并展示整個批次所有晶圓的相關(guān)統(tǒng)計數(shù)據(jù),便于用戶進行深入分析。

高度精確的自動測量功能

測試液滴由自動加液裝置產(chǎn)生,液滴圖像即刻以高質(zhì)量實時視頻畫面顯示在電腦屏幕。只需點擊一個按鍵即可開始測量。軟件能夠快速計算接觸角,并以直觀的圖形化界面結(jié)合精確的數(shù)據(jù)進行呈現(xiàn),方便用戶記錄與分析。系統(tǒng)具備極短的測量時間(每滴僅需1秒),有效避免了因時間延遲導致的誤差

SURFTENS HL automatiq則量系統(tǒng)不僅提供了高級別的測量重復性和精度,且操作簡便,對于對比度差的圖像,系統(tǒng)還配備了手動測量功能,為用戶提供靈活的解決方案。