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DUV/EUV光罩除塵機(jī)品牌
科毅科技產(chǎn)地
廣東樣本
暫無(wú)收灰方式：
-進(jìn)風(fēng)方式：
-排放濃度：
-阻力損耗：
-脫硫率：
-風(fēng)量：
-使用溫度：
-除塵效率：
-工作原理：
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項(xiàng)目 | 參數(shù) |
應(yīng)用范圍 | 用于3~5～200nmEUV 同時(shí)兼容KrF/ArF |
配備 | 壓縮空氣濾清器、除靜電離子風(fēng)、X-Ray除靜電系統(tǒng) |
風(fēng)刀角度 | 可手動(dòng)調(diào)整高度&角度 |
風(fēng)量壓力控制 | 電子式氣壓控制 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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