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OpenLight 科研級晶圓缺陷檢測平臺品牌
清軟微視產(chǎn)地
浙江樣本
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OpenLight 是面向高校和科研院所，應(yīng)用于裸片、晶圓、芯片、器件等半導(dǎo)體各制程段產(chǎn)品的顯微觀測，是 AOI 算法、工藝驗證、光學(xué)實驗等應(yīng)用的研發(fā)利器
OpenLight 采用自主設(shè)計的超高速、大視野、高解析度的成像系統(tǒng)，集合無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)主鏡筒、大功率全視野均勻照明系統(tǒng)、明場/暗場/DIC 多觀察方式、實時/擬合對焦系統(tǒng)等部分，提供穩(wěn)定顯微成像方案；運(yùn)動系統(tǒng)使用大理石基臺配合獨(dú)立隔振器，保證高速運(yùn)動下穩(wěn)定，消除對成像及檢測的干擾
| 項目 | 內(nèi)容 |
| 晶圓尺寸 | 4" / 6" / 8" / 12" |
| 檢測相機(jī) | 線陣：4k 128 線 TDI |
| Review 相機(jī) | 面陣：彩色 1200 萬像素 |
| 鏡頭 | 2X / 5X / 10X / 20X |
| 照明方式 | 高亮點(diǎn)光源反射式照明 |
| 對焦方式 | 硬件實時主動對焦 |
| 運(yùn)動行程 | X軸/Y軸/Z軸：350/400/50mm |
| 整體尺寸 | 1300mm * 900mm * 1600mm |
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