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金屬污染物M-SPEC系列
Full Automatic in Line System
Detection Limit: ~1ppt
Time to data: 30min ~ 1hrs
Detector: ICP-MS
Throughput: 3-6 per hour
自主研制的晶體生長、研磨拋光、光學量測、化學檢測、芯片測試等設備， 已廣泛運用于半導體集成電路制造的前、中、后道。
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