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產(chǎn)品介紹：
連接反應(yīng)腔室和進(jìn)氣石英管，作為外延生長所需工藝氣體的傳輸通道
適用機(jī)型：
SiC 外延水平6時(shí)&8 時(shí)機(jī)臺
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