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原料氫：催化重整 (煤、天然氣、甲醇、乙醇、二甲醚、汽油等)；化學(xué)分解化物、氫化物、甲酸等）；電解水
（堿液、純水）；生物制氫；各種副產(chǎn)氫（氨、鋁、硼氫(氯堿、煉化、石化、焦化、煤化工等)?？蓮V泛用于氫能、半導(dǎo)體芯片、燒結(jié)爐保護(hù)氣、MOCVD、人造金剛石（MPCVD）、色譜分析、冶金等領(lǐng)域，以及氫氣/氦氣分離、氫同位素（氕氘氚）分離與純化?！　?/span>

產(chǎn)氫量/ H2 output：1 – 10 m3/h;

　　純度/ H2 purity：99.99 – 99.9999%;

　　主要用途/ Main applications：

　　色譜/ Gas chromatography

　　燃料電池/ Fuel cell

　　核能/ Nuclear power

　　多晶硅/ Polysilicon

　　電子/ Electronics

　　冶金/ Metallurgy

　　可利用的原料氫來源有：重整制氫(煤、天然氣、汽油、柴油、石腦油、甲醇、乙醇、二甲醚、乙醚等);各種副產(chǎn)氫(氯堿、煉化、石化、焦化、煤化工等);化學(xué)分解制氫(氨、鋁、硼氫化物、氫化物、甲酸等);電解(堿液、純水)制氫等。

　　可廣泛用于氫能、半導(dǎo)體芯片、燒結(jié)爐保護(hù)氣、MOCVD、人造金剛石、色譜分析等領(lǐng)域，以及氫氣/氦氣分離、氫同位素(氕氘氚)的分離與純化。

　　半導(dǎo)體芯片、液晶顯示器-CVD氫氣純化器

　　■半導(dǎo)體芯片的CVD制造工藝所需氫氣純度8N~12N，只能通過鈀膜純化。本公司產(chǎn)品打破了國外壟斷，也可為TFT-LCD液晶顯示器的CVD工藝提供關(guān)鍵電子氣。

　　人造金剛石用氫氣純化器

　　■用于MPCVD工藝，顯著提升人造金剛石的質(zhì)量和成色(特別是用作首飾)。