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注釋
①每一層的載流子濃度和厚度無(wú)法直接測(cè)量。
②表面缺陷包含彗星缺陷、三角形缺陷、胡蘿卜缺陷以及掉落物。
③表面粗糙度使用原子力顯微鏡進(jìn)行測(cè)量，掃描尺寸為10x10 um2.
注:我司可根據(jù)客戶定制參數(shù)更嚴(yán)格的外延片。
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