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光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備——WSD系列品牌
睿勵(lì)科學(xué)產(chǎn)地
上海樣本
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WSD系列產(chǎn)品是睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司自主研發(fā)、生產(chǎn)的全自動(dòng)晶圓外觀缺陷檢測(cè)設(shè)備。
設(shè)備的基本檢測(cè)原理是利用光學(xué)系統(tǒng)成像、通過(guò)圖像分析的方式來(lái)捕抓并分類(lèi)各種晶圓表面的缺陷。
該系列產(chǎn)品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號(hào)產(chǎn)品，
適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)：
l 支持6/8/12吋wafer
l 可定制化兼容Frame產(chǎn)品
l 支持透明/非透明襯底片檢測(cè)
l 可檢測(cè)缺陷類(lèi)型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等
l 具備晶圓全表面檢測(cè)、自動(dòng)缺陷檢測(cè)分類(lèi)以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能
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