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簡介 ： 1.結構緊湊，可采用并排布局，提高廠房利用率。 2.可兼容電阻或感應加熱熱場。 3.可配備多個加熱器獨立控制，工藝調試窗口大，便于同時控制軸向和徑向溫度梯度。 4.底部水冷坩堝軸帶有中空測溫孔，頂、底、側均可配紅外測溫，便于溫場監(jiān)控和工藝調試。 5.可選恒功率、恒電流、恒溫工作模式。 6.滿足6-8寸半絕緣/導電晶體生長需求。
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