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等離子系統(tǒng) GIGA 690 是 PS400 和 PS660 的后續(xù)型號(hào)。作為低壓微波等離子系統(tǒng)，它專(zhuān)為應(yīng)用于清潔和芯片封裝中半導(dǎo)體元件的活化而打造，其中包括在芯片貼裝、引線鍵合、倒裝芯片底部填充和封裝等工藝之前。為此目的，2.45 GHz 的微波通過(guò)窗口被引入真空室，并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)等離子體。該技術(shù)工藝可實(shí)現(xiàn)快速且無(wú)損傷的等離子處理。此外，憑借其配有的等離子技術(shù)，可滿足各應(yīng)用的工藝要求。

該系統(tǒng)具有手動(dòng)和自動(dòng)兩種操作方式；其人性化的軟件符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。手動(dòng)操作模式提供了更大的靈活性和控制能力，適用于研發(fā)階段或需要特定處理?xiàng)l件的情況。自動(dòng)操作模式則更適合大規(guī)模生產(chǎn)，可以提高效率和一致性。無(wú)論是研發(fā)階段還是大規(guī)模生產(chǎn)，該系統(tǒng)都能滿足工藝要求，并提供高效、一致且安全的操作體驗(yàn)。