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CVD@TaC涂層系列品牌
湖南德智產(chǎn)地
湖南樣本
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? 基材:等靜壓石墨(厚度>0.5 mm)  | ? 涂層:TaC(厚度<300 μm)  | 
晶圓制造
? 單晶生長(zhǎng)  | ? 外延  | 
? 精密加工(石墨)  | ? 低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)  | 
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