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面議型號
TLX-40碳化硅單晶爐品牌
星特亮科技產(chǎn)地
江蘇樣本
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產(chǎn)品型號 性能參數(shù) | TLX-40 | TLX-40A | TLX-41 | |
1 | 結(jié)構(gòu)形式 | 單層英管+水冷屏蔽罩 | 雙層水冷石英管 | 雙層水冷石英管 |
2 | 晶體尺寸（吋） | 4-6 | 4-6 | 6-8 |
3 | 內(nèi)石英管尺寸（mm） | Φ380×1100 | Φ380×1170 | Φ410×1170 |
4 | 加熱方式 | 電磁感應(yīng) | 電磁感應(yīng) | 電磁感應(yīng) |
5 | 加熱功率（kw） | 60 | 40 | 40 |
6 | 加熱頻率（kHz） | 8 | 8 | 8 |
7 | **溫度（℃） | 2400 | 2400 | 2400 |
8 | 測溫方式 | 上、下 | 上、下 | 上、下 |
9 | 溫度測控范圍（℃） | 1000-3000 | 1000-3000 | 1000-3000 |
10 | 溫度控制精度（℃） | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
11 | 控溫模式 | 功率控制模式 上部溫度控制模式 下部溫度控制模式 | 功率控制模式 上部溫度控制模式 下部溫度控制模式 | 功率控制模式 上部溫度控制模式 下部溫度控制模式 |
12 | 爐內(nèi)真空度（Pa） | 6．00E-04 | 6．00E-04 | 6．00E-04 |
13 | 抽氣速率（mbar*l/s） | 800L/s | 800L/s | 800L/s |
14 | 漏氣率（mbar*l/s） | 5.00E-09 | 5.00E-09 | 5.00E-09 |
15 | 線圈升降速度（mm/h） | 0.02-2 | 0.02-2 | 0.02-2 |
16 | 線圈升降距離（mm） | ≥200 | ≥300 | ≥300 |
17 | 坩堝升降速度（mm/min） | ≥150 | ≥150 | ≥150 |
18 | 坩堝升降距離（mm） | ≥1250 | ≥850 | ≥850 |
19 | 坩堝旋轉(zhuǎn)速度（rpm） | 0.1-20 | 0.1-20 | 0.1-20 |
20 | 爐蓋開啟方式 | 氣動升降 手動旋轉(zhuǎn) | 氣動升降 手動旋轉(zhuǎn) | 氣動升降 手動旋轉(zhuǎn) |
21 | 氣體源 | N2/Ar/H2 | N2/Ar/H2 | N2/Ar/H2 |
22 | 冷卻水壓力（MPa） | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 | 0.15-0.2 |
23 | 冷卻水流量（m3/h） | 5 | 6 | 6 |
24 | 冷卻水溫度（℃） | （22-26）±2℃ | （22-26）±2℃ | （22-26）±2℃ |
25 | 冷卻水質(zhì) | PH6-8，軟化純凈水 | PH6-8，軟化純凈水 | PH6-8，軟化純凈水 |
26 | 裝卸料位置 | 下 | 上、下 | 上、下 |
27 | 整機(jī)控制方式 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
28 | 主機(jī)尺寸 | 1400×2100×3800 | 1400×2100×3600 | 1680×2200 |
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