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HMPS-2120S微波等離子體CVD設(shè)備品牌
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微波功率容量大、功率密度高；
◆沉積面積大、速率快、質(zhì)量高；
◆安全可靠，滿(mǎn)足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運(yùn)行；
◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源，新型下饋式大容積碟形放電工作腔；
◆微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)定度1%；
◆放電區(qū)Φ≥100mm；均勻沉積區(qū)Φ≥75mm；
◆工作氣體：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar；
◆極限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s；
◆工作壓力：0.1~30kPa；自動(dòng)控制；
◆紅外測(cè)溫：600~1800℃（雙色）；
◆PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動(dòng)控制。
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