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Ferrotec(中國(guó))硅熔接和硅精制品致力于為半導(dǎo)體硅片處理工藝中提供理想的硅片承載工具,減少硅片金屬污染,錯(cuò)位等缺陷,以及為半導(dǎo)體前沿工藝提供突破性解決方案。主要為硅片高溫處理和LPCVD沉積工藝,提供高純度的多晶硅舟,保溫筒,噴射管等;為半導(dǎo)體蝕刻機(jī)提供硅環(huán),showerhead等產(chǎn)品。
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