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C11011-01W 微米膜厚測(cè)量?jī)x
特性
利用紅外光度測(cè)定進(jìn)行非透明樣品測(cè)量
測(cè)量速度高達(dá)60 Hz
測(cè)量帶圖紋晶圓和帶保護(hù)膜的晶圓
長(zhǎng)工作距離
映射功能
可外部控制
參數(shù)
| 型號(hào) | C11011-01W |
| 可測(cè)膜厚范圍（玻璃） | 25 μm to 2900 μm*1 |
| 可測(cè)膜厚范圍（硅） | 10 μm to 1200 μm*2 |
| 測(cè)量可重復(fù)性（硅） | 100 nm*3 |
| 測(cè)量準(zhǔn)確度（硅） | < 500 μm: ±0.5 μm； > 500 μm: ±0.1 %*3 |
| 光源 | 紅外LED（1300 nm） |
| 光斑尺寸 | φ60 μm*4 |
| 工作距離 | 155 mm*4 |
| 可測(cè)層數(shù) | 一層（也可多層測(cè)量） |
| 分析 | 峰值探測(cè) |
| 測(cè)量時(shí)間 | 22.2 ms/點(diǎn)*5 |
| 外部控制功能 | RS-232C / PIPE |
| 接口 | USB2.0 |
| 電源 | AC100 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 50W |
*1：SiO2薄膜測(cè)量特性
*2：Si薄膜測(cè)量特性
*3：測(cè)量6 μm厚硅薄膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差
*4：可選配1000mm工作距離的模型C11011-01WL
*5：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間
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