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INFICON 公司生產(chǎn)的HPG 400 型高壓強熱電離皮拉尼真空計
將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟
的規(guī)管中，測量壓強從 2×10-6 至1000 毫巴(1.5×10-6 至
750 乇)。HPG 400 提供高度的重復性和再現(xiàn)性壓強測量，
用于精確的濺射過程的壓強控制。
用戶優(yōu)越性
HPG 400 節(jié)省成本和設備空間，降低真空測量的安裝與
設置的復雜性
高壓強熱電離真空計從 1×10-5 至1 毫巴為要求高的過程
控制提供精確、可靠的壓強測量
用戶可選的熱電離發(fā)射在 5×10-2 至1 毫巴之間起始工作
皮拉尼聯(lián)鎖保護熱陰極防止它過早燒毀
高真空皮拉尼自動調整，減少操作人員的干預
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
典型應用
半導體制造中濺射工藝應用，電子學的媒體工業(yè)
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制
暫無數(shù)據(jù)！
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