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渦輪分子泵——真空泵中的***

真空技術的應用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實上，在研發(fā)和工業(yè)領域的大量應用都需要極低的**壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球**的技術標準。轉速高達 90，000 rpm 的高速轉子能產(chǎn)生應用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達 10^-11 mbar 的真空度。

**的真空解決方案 滿足**要求

普發(fā)真空擁有抽速介于10到2，700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價比和靈活的安裝方式。經(jīng)過實踐驗證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益于精密的轉子設計，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉化為相應的高轉子動能，當轉子和定子相觸，動能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關重要的作用，需經(jīng)過理論和實際的雙重檢驗。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認證。除機械安全性能外，該認證同時也包括了防火和轉速過高的雙重保護，這向認證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。

我們關注客戶利益的核心

在整個生產(chǎn)工藝過程中，真空技術往往是成敗的關鍵因素。在各類生產(chǎn)應用中，因批量故障或生產(chǎn)中斷而造成的費用損失甚至可以高達上百萬元。因此采用性能穩(wěn)定可靠的部件顯得十分重要。如今，渦輪分子泵的工作時間已經(jīng)能達到 100，000 小時。這意味著產(chǎn)品能無間斷地運行長達11年的時間。在此期間，應盡可能地避免因保養(yǎng)或服務導致的運行中斷。普發(fā)真空渦輪分子泵具備擴展的自診斷功能，能滿足該項需求。通過分析真空泵的相關技術數(shù)據(jù)，給維修保養(yǎng)工作帶來了極大的支持。因此，任何保養(yǎng)都可以提前進行預測，用戶可以自主安排保養(yǎng)計劃。此外，真空泵油和軸承都可以在現(xiàn)場直接進行更換，更大程度上保障了正常生產(chǎn)運行。渦輪分子泵的集成控制器減少了對繁瑣、昂貴的布線需要。一流的驅動技術將能源消耗降低到*少，同時還帶有多樣化的接口。真空泵具有IP54防護等級設計，符合工業(yè)環(huán)境應用要求。緊湊型結構設計能滿足更小的物理空間安裝需求。為將成本*小化，普發(fā)真空提供多樣化的控制器，供不同型號的泵使用。甚至泵體的重量也是重點考量的因素：抽速為 250 升/每秒的渦輪分子泵重量僅為 6 kg。普發(fā)真空渦輪分子泵的應用范圍廣闊，不僅包括分析儀器、真空工藝和半導體技術，還包括真空鍍膜、研發(fā)和其他各類工業(yè)應用領域。

應用領域

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領域中，真空技術發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對于制造極純工藝條件具有至關重要的作用。

● 分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

● 半導體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）

● 光學/玻璃行業(yè)（隔熱保護、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

● 真空鍍膜技術*（表面保護、裝飾土層、顯示技術、屏幕等）

● 真空冶金（真空焊接、真空燒結、真空合金、真空爐等）

● 泄漏檢測（真空系統(tǒng)、機車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

● 科研設施（核粒子物理學、核聚變研究、激光應用等）

● 燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

系列

Hipace 10-800

抽速等級在10-800 L/S 的緊湊型球軸承或復合軸承渦輪分子泵

穩(wěn)健性工業(yè)設計

*小的空間安裝需求

高可靠性

尺寸

Hipace 1200-2300

抽速等級在1000-2000 L/S 的緊湊型復合軸承渦輪分子泵

高抽速

更大的氣流量

更快的啟動時間

尺寸

Hipace 300-800M ， ATH 500 M

抽速等級在300-800 L/S 的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵

更大的氣流量

更低的運行震動

更低的能耗

尺寸

ATH 1600-3200 M

抽速等級在1400-2800 L/S 的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵

更好的前級泵兼容性

極高的氣流量

出色的穩(wěn)定性

尺寸