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四探針方塊電阻測試儀

按照硅片電阻率測量的國際標準（ASTM F84）及國家標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準，本機配置232電腦接口及USB兩種接口，本機結合采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進步，特別是方塊電阻值較小的產品測量，更加準確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.

參數資料

1.方塊電阻范圍：10^-2～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-3～2×10⁶Ω-cm

3.測試電流范圍：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.3%讀數

5.電阻精度：≤0.5%

6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率

7.測試方式: 普通單電測量

8.工作電源:輸入: AC 220V±10% ，50Hz 功耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10.選購功能: 選購1.pc軟件；選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺

11.測試探頭： 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針