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產(chǎn)品名稱 | VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī) |
主要特點(diǎn) | 1、可臺(tái)面式操作，外形尺寸緊湊 2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選 3、底盤旋轉(zhuǎn)加熱，XY電缸移動(dòng)式噴膠 4、可處理**基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容 |
技術(shù)參數(shù) | 1、熱盤溫控范圍：室溫—150℃，溫度分辨率：0.1℃ 2、溫度均勻性：小于±1％（工作范圍內(nèi)） 3、膠體流速范圍：1-20ml/min 4、電缸移動(dòng)速度：1-200㎜/s 5、電缸定位精度：±0.02㎜ 6、電缸有效行程：300×300㎜ 7、超聲波霧化粒徑：小于50μm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜ |
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