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N-TEC全自動晶圓清洗機BW 232FA
賣點
。SECS / GEM 功能
。全自動超音波洗凈
。Barcode 讀取
機臺優(yōu)勢
?？芍梅艃山M Cassette
。加熱功能
。四面溢流與過濾循環(huán)功能
作業(yè)方式
**槽: 藥劑超音波槽。
第二槽: 藥劑超音波槽。
第三槽: 純水 QDR 槽。
第四槽: 純水 QDR 槽。
第五槽: 純水 QDR 槽。
第六槽: 真空干燥槽。
設(shè)備尺寸 | 4330 mm × 2120 mm × 2980 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
設(shè)備重量 | 3500 kg |
電源ＡＣ | 415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) 240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V) |
空氣源 | 壓縮干燥空氣 6~8 Kgf/cm2 |
N2 | General Nitrogen 2 m3/min |
晶圓尺寸 | 6″ 晶圓 |
晶粒尺寸 | – |
雷切深度 | – |
膠環(huán)尺寸 | – |
膜料尺寸 | – |
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