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德 Iplas 微波等離子化學氣相沉積
詳細介紹
德國 IPLAS 微波等離子化學氣相沉積技術（MPCVD)， 通過等離子增加前驅體的反應速率，降低反應溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態(tài)好的高質量硬質薄膜和晶體。
MPCVD是世界公認的制備大尺寸單晶金剛石有效手段之一。德國iplas公司**的 CYRANNUS® 等離子技術解決了傳統(tǒng)等離子技術的局限，可以在10mbar到室壓范圍內激發(fā)高穩(wěn)定度的等離子團，**限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態(tài)的變化，從而確保單晶生長的持續(xù)性，為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。
化學機理概要：
碳氫化合物：提供沉積材料
氫氣：生成sp3鍵
氧：對石墨相/sp2鍵侵蝕
惰性氣體：緩沖氣體，或生成納米晶體。
適用合成材料：
大尺寸寶石級單晶鉆石
高取向度金剛石晶體
納米結晶金剛石
碳納米管/類金剛石碳（DLC）
多種等離子發(fā)生器選擇：
頻率：2.45GHz， 915MHz:
功率：1-2kW， 1-3kW， 3-6kW，1-6kW，5-30kW
等離子團直徑：70mm， 145mm， 250mm， 400mm
工作其他范圍：0-1000mBar
其他應用：
MPCVD同樣適用于平面基體，或曲面顆粒的其它硬質材料如Al2O3，c-BN的薄膜沉積和晶體合成。德國iplas公司憑借幾十年在等離子技術領域的積累，可以為用戶提供高度定制的設備，滿足用戶不同的應用需要。
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