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D8 DISCOVER with Davanci Design

布魯克公司全新的D8 DISCOVER X射線衍射儀，材料研究領(lǐng)域的先進(jìn)X射線衍射系統(tǒng)。采用創(chuàng)造性的達(dá)芬奇設(shè)計(jì)，配備了集成化的DIFFRAC.SUITETM軟件，附件自動(dòng)識別、即插即用以及完全集成化的二維XRD2功能。這些特征使得用戶可以非常方便的在材料研究領(lǐng)域的不同應(yīng)用之間切換，包括：反射率測量(XRR)、高分辨測量(HRXRD)、掠入射(GID)、面內(nèi)掠入射(IP-GID)、小角散射(SAXS)以及殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析。

主要應(yīng)用

高分辨XRD(HRXRD)

外延多層膜厚度

晶胞參數(shù)

晶格錯(cuò)配

組份

應(yīng)變及弛豫過程

橫向結(jié)構(gòu)

鑲嵌度

X射線反射率(XRR)

薄膜厚度

組份

粗造度

密度

孔隙度

倒易空間圖譜(RSM)

晶胞參數(shù)

晶格錯(cuò)配

組份

取向

弛豫

橫向結(jié)構(gòu)

面內(nèi)掠入射衍射 (in-plane GID)

掠入射小角X射線散射(GISAXS)

晶胞參數(shù)

晶格錯(cuò)配

橫向關(guān)聯(lián)性

取向

物相組成

孔隙度

應(yīng)力和織構(gòu)分析

取向分布

取向定量

應(yīng)變

外延關(guān)聯(lián)

硬度

物相鑒定(Phase ID)

物相組成

d值確定

擇優(yōu)取向

晶格對稱性

晶粒大小

應(yīng)用實(shí)例：

HRXRD 硬件設(shè)置 LEPTOS(布魯克公司高分辨數(shù)據(jù)分析軟件)分析多層膜數(shù)據(jù)