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Htc日揚真空產(chǎn)地
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超高真空閘閥-UHV gate valve的組成主要由三個組件組成分別為驅(qū)動器,閥車/閥門與閥體。Htc日揚真空(Htc Vacuum)所提供的閘閥可分成應(yīng)用于高真空與超高真空兩大類, 用于超高真空系統(tǒng)使用的閘閥是屬旋轉(zhuǎn)式直線作動。藉手動或氣動的驅(qū)動閥桿來驅(qū)動真空閥門齒輪以達閘門之開闔功能。真空閘閥含有波紋管與無波紋管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS與CF法蘭。
Htc日揚真空(Htc Vacuum)設(shè)計的所有系列真空閘閥適用于真空排氣系統(tǒng)，超高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)，半導(dǎo)體技術(shù)，同步幅射中心與學(xué)術(shù)研究系統(tǒng)等。
規(guī)格說明
材質(zhì) | 本體 | 304 S.S. | |||
閥車 | 304 S.S. | ||||
閘門 | 304 S.S. | ||||
波紋管 | AM350 | ||||
使用壽命 | 4吋(包含)以下 | 100,000 cycles | |||
4吋以上 | 50,000 cycles | ||||
1大氣壓力下之漏率 | <5x10-10 mbar. l /sec for gasket seal | ||||
耐溫限制 | 閥門本體 | 開 Open | 200℃ metal bonnet seal | ||
關(guān) Closed | 150℃ metal bonnet seal | ||||
手動式和氣動式之驅(qū)動器 | ≤ 80℃ | ||||
使用壓力范圍(mbar) | 1x10-10 ～ 1000 | ||||
**使用壓差 ΔP(mbar) | 開啟前 27mbar | ||||
標準密封 | 閘門 | Viton O-ring | |||
閥蓋 | OFHC copper gasket | ||||
驅(qū)動器 | 手動式或氣動式 | ||||
氣壓源 |
| ||||
表面處理 | 表面拋砂處理 | ||||
選配 | a. 位置指示器 | ||||
| 極限開關(guān)連接 | D-sub Female 9 pins Current Rating | 3A 110VAC | |||
| 5A 24VDC | |||||
保固條件
自客戶收到貨品起一年內(nèi), 或到達產(chǎn)品設(shè)定的使用次數(shù), 先到者為準
操作環(huán)境限于空氣, 惰性氣體及真空
因天然災(zāi)害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內(nèi)
暫無數(shù)據(jù)！
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